Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir.[1] Özellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.

365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası

Kaynakça

değiştir
  1. ^ "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 1 Ocak 2017. 

Dış bağlantılar

değiştir