Mikro elektro-mekanik sistemler: Revizyonlar arasındaki fark

[kontrol edilmemiş revizyon][kontrol edilmemiş revizyon]
İçerik silindi İçerik eklendi
TobeBot (mesaj | katkılar)
Değişiklik özeti yok
1. satır:
'''Mikroelektro-mekanik sistemler''' ('''MEMS''') günümüzde var olan mekanik ve elektrik sistemlerin entegre ve minyatürize versiyonları olup mikron boyutlarında olan bu sistemleri [[nanoelektromekanik sistemler]] (NEMS) vasıtası ile [[nanoteknoloji]] uygulamaları için de kullanmak mümkündür<ref> M.C. Roco. “A Frontier for Engineering,”Mech.Eng.123, January, pp. 52–55, (2001).</ref>. MEMS kavramı ilk olarak 1987 yılında bir [[mikrodinamik]] çalıştayı esnasında telaffuz edilmiştir. Fakat MEMS kavramının ortaya çıkması esas olarak [[entegre devre]] çalışmalarında yaşanan gelişmeler ışığında olmuştur. Bu gelişmeler içinde kalıba alma, kaplama teknolojileri, ıslak oyma metodları, kuru oyma metodlarında yaşanan gelişmeler mikro aygıt yapımını mümkün kılmıştır. Küçük aygıtların yapılması konusunda ortaya çıkan ilk fikir ünlü fizikçi [[Richard Feynman]] tarafından 1959 yılında yapılan "[[There's plenty of spaceroom at the bottom]]" isimli konuşmada ortaya atılmıştır. Mikro-elektromekanik sistemlerin boyutları 1 ile 100 [[mikrometre]] arasında değişim gösterir. Bu küçük boyutlarda standard fizik kuralları genellikle geçersizdir. MEMS yapılarında yüzey alanının hacime oranı oldukça yüksektir bu sebep ile yüzey etkileri ([[elektrostatik kuvvetler]],[[ıslatma]]) hacim etkilerine ([[eylemsizlik]],[[termal kütle]]) baskın gelir. Mikro elektro-mekanik sistem yapıları üç bölümden oluşur. Bu bölümler mekanik bölüm, mekanik bölümü çalıştıran tahrik bölümü ve mekanik hareketin davranışını inceleyen algılama bölümü olarak özetlenebilir. MEMS tahrik mekanizmaları verilen tahrik tipine göre farklılık gösterir. MEMS yapıları termal, elektrostatik, manyetik, pnömatik ve optik olarak tahrik edilebilir. Algılama işlemi ise genellikle optik ve elektronik sinyaller vasıtası ile yapılır.
 
87. satır:
* [[Qualcomm]] Qualcomm MEMS Technologies - MEMS teknolojilerini cep telefonları ve taşınabilir elektronik malzemeler için tasarlayan ve üreten bir firma
* [[Finetech]], MEMS yapılarının üretimi için aygıt tasarlayan bir firma
* [[METU-MEMS]], MEMS yapılarını kullanarak Infrareddönüölçer, Sensorivme üretensensörleri ve kızılötesi detektörler konusunda araştırma yapan bir üniversite kuruluşu
* [[UNAM]], NEMS ve MEMS yapılarının tasarlanabildiği bir merkez