Mikro elektro-mekanik sistemler: Revizyonlar arasındaki fark
[kontrol edilmemiş revizyon] | [kontrol edilmemiş revizyon] |
İçerik silindi İçerik eklendi
k Bot değişikliği Ekleniyor: fa:سیستمهای میکرو الکترومکانیکی |
Değişiklik özeti yok |
||
1. satır:
'''Mikroelektro-mekanik sistemler''' ('''MEMS''') günümüzde var olan mekanik ve elektrik sistemlerin entegre ve minyatürize versiyonları olup mikron boyutlarında olan bu sistemleri [[nanoelektromekanik sistemler]] (NEMS) vasıtası ile [[nanoteknoloji]] uygulamaları için de kullanmak mümkündür<ref> M.C. Roco. “A Frontier for Engineering,”Mech.Eng.123, January, pp. 52–55, (2001).</ref>. MEMS kavramı ilk olarak 1987 yılında bir [[mikrodinamik]] çalıştayı esnasında telaffuz edilmiştir. Fakat MEMS kavramının ortaya çıkması esas olarak [[entegre devre]] çalışmalarında yaşanan gelişmeler ışığında olmuştur. Bu gelişmeler içinde kalıba alma, kaplama teknolojileri, ıslak oyma metodları, kuru oyma metodlarında yaşanan gelişmeler mikro aygıt yapımını mümkün kılmıştır. Küçük aygıtların yapılması konusunda ortaya çıkan ilk fikir ünlü fizikçi [[Richard Feynman]] tarafından 1959 yılında yapılan "[[There's plenty of
87. satır:
* [[Qualcomm]] Qualcomm MEMS Technologies - MEMS teknolojilerini cep telefonları ve taşınabilir elektronik malzemeler için tasarlayan ve üreten bir firma
* [[Finetech]], MEMS yapılarının üretimi için aygıt tasarlayan bir firma
* [[METU-MEMS]], MEMS yapılarını kullanarak
* [[UNAM]], NEMS ve MEMS yapılarının tasarlanabildiği bir merkez
|