Taramalı elektron mikroskobu: Revizyonlar arasındaki fark

{{Karıştırma|Geçirimli elektron mikroskobu|Taramalı tünelleme mikroskobu}}

 

'''Taramalı elektron mikroskobu''' veya '''SEM''' (scanning electron microscope), odaklanmış bir [[elektron demeti]] ile numune yüzeyini tarayarak görüntü elde eden bir [[elektron mikroskobu]] tipidir. Elektronlar numunedeki atomlarla etkileşerek numune yüzeyindeki [[Topoğrafya|topografi]] ve kompozisyon hakkında bilgiler içeren farklı sinyaller üretir. Elektron demeti [[raster tarama]] ile yüzeyi tarar ve demetin konumu, algılanan sinyalle eşleştirilerek görüntü oluşturulur. SEM ile 1 nanometreden daha yüksek çözünürlüğe ulaşılabilir. Standart SEM cihazları yüksek vakumda, kuru ve iletken yüzeyleri incelemek için uygundur. Ancak düşük vakumda, nemli koşullarda ([[çevresel taramalı elektron mikroskobu]]), çok düşük sıcaklıklardan yüksek sıcaklıklara değişen koşullarda çalışabilen özelleşmiş cihazlar da mevcuttur.

 

== Çalışma ilkesi ==

Yüksek enerjili demet elektronları numune atomlarının dış yörünge elektronları ile elastik olmayan girişimi sonucunda düşük enerjili [[Auger etkisi|Auger elektronları]] oluşur. Bu elektronlar numune yüzeyi hakkında bilgi taşır ve Auger spektroskopisinin çalışma prensibini oluşturur. Yine yörünge elektronları ile olan girişimler sonucunda yörüngelerinden atılan veya enerjisi azalan demet elektronları numune yüzeyine doğru hareket ederek yüzeyde toplanırlar. Bu elektronlar ikincil elektron olarak tanımlanır. İkincil elektronlar numune odasında bulunan sintilatörde toplanarak ikincil elektron görüntüsü sinyaline çevrilir. İkincil elektronlar numune yüzeyinin 10 nm veya daha düşük derinlikten geldiği için numunenin yüksek çözünürlüğe sahip topografik görüntüsünün elde edilmesinde kullanılır