"Fotolitografi" sayfasının sürümleri arasındaki fark

5 kaynak kurtarıldı ve 0 kaynak ölü olarak işaretlendi.) #IABot (v2.0.7
(5 kaynak kurtarıldı ve 0 kaynak ölü olarak işaretlendi.) #IABot (v2.0.7)
(5 kaynak kurtarıldı ve 0 kaynak ölü olarak işaretlendi.) #IABot (v2.0.7)
[[Dosya:Wafertraksystem.jpg|thumb|365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası]]
'''Fotolitografi''', bir [[fotomaske]] kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan [[fotorezist]]in şekillendirilmesi işlemidir.<ref>{{Web kaynağı | url = https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | başlık = Fotolitografi | yayımcı = [[Boğaziçi Üniversitesi]] | arşivurl = https://web.archive.org/web/20170115160828/https://lifesci.boun.edu.tr/tr/fotolitografi | arşivtarihi = 15 Ocak 2017 | erişimtarihi = 1 Ocak 2017 | ölüurl = noyes }}</ref> Özellikle [[mikroçip]] çekirdekleri ile [[cep telefonu]] parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.
 
== Kaynakça ==
== Dış bağlantılar ==
* [https://web.archive.org/web/20090506103248/http://www.ee.byu.edu/cleanroom/lithography.phtml BYU Photolithography Resources]
* [http://www.lithoguru.com/scientist/lithobasics.html Semiconductor Lithography] {{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20170115213753/http://lithoguru.com/scientist/lithobasics.html |tarih=15 Ocak 2017 }} — Overview of lithography
* [http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/chiu.html Optical Lithography Introduction]{{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20051127142407/http://www.research.ibm.com/journal/rd/411/chiu.html |tarih=27 Kasım 2005 }} — IBM site with lithography-related articles
* [http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 Immersion Lithography Article]{{Webarşiv|url=https://web.archive.org/web/20060321174638/http://sst.pennnet.com/Articles/Article_Display.cfm?Section=ARCHI&Subsection=Display&ARTICLE_ID=205024&p=28 |tarih=21 Mart 2006 }} — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography
441.947

düzenleme