Taramalı elektron mikroskobu: Revizyonlar arasındaki fark
[kontrol edilmiş revizyon] | [kontrol edilmiş revizyon] |
İçerik silindi İçerik eklendi
k düzen |
kDeğişiklik özeti yok |
||
2. satır:
[[Dosya:Ant_SEM.jpg |200px|thumb| Bir karınca kafasının taramalı elektron mikroskobuyla alınmış görüntüsü.]]
'''Taramalı elektron mikroskobu''' veya '''SEM''' (scanning electron microscope), odaklanmış bir [[elektron demeti]] ile numune yüzeyini tarayarak görüntü elde eden bir [[elektron mikroskobu]]
SEM'de görüntü oluşturmak için en çok, elektron demeti tarafından uyarılan numune atomlarının yaydığı ikincil elektronlardan (SE) faydalanılır. Numunenin farklı bölgelerinden kopan ikincil elektronların sayısındaki değişim öncelikle demetin yüzeyle buluşma açısına, yani yüzeyin topografisine bağlıdır. İkincil elektronların yanında geri saçılan elektronlar (BSE), karakteristik X-ışınları, ışık (elektron demeti) (CL), numune akımı ve aktarılan elektronlarla da numuneden çeşitli sinyaller elde edilerek amaca uygun topografi ve kompozisyon analizleri yapılır.
== Tarihçe ==
SEM'in erken tarihi McMullan tarafından aktarılmıştır.<ref>McMullan, D. (2006). "[http://www-g.eng.cam.ac.uk/125/achievements/mcmullan/mcm.htm SCANNING ELECTRON MICROSCOPY 1928-1965]". ''Scanning'' 17 (3): 175-185. [http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/sca.4950170309/abstract;jsessionid=06F58DAC079C17D076D0942F6D53CFED.f01t03 doi:10.1002/sca.4950170309.]</ref><ref>McMullan, D. (1988). "Von Ardenne and the scanning electron microscope". ''Proc Roy Microsc Soc'' 23: 283-288</ref> İlk elektromanyetik lens 1926'da [[Hans Busch]] tarafından geliştirdi.<ref>Mathys, Daniel, Zentrum für Mikroskopie, [[:en:University of Basel|University of Basel]]: ''Die Entwicklung der Elektronenmikroskopie vom Bild über die Analyse zum Nanolabor'', p. 8</ref> Bir takım başarısız denemelerin ardından 1931'te Alman fizikçi [[Ernst Ruska]] ve elektrik mühendisi [[Max Knoll]] X400 büyütme gücüne sahip bir elektron mikroskobu prototipi oluşturdular. Bu cihaz elektron mikroskobunun temel prensiplerini ortaya koydu. 1933'te ise Ruska ışık mikroskobu ile elde edilebilen çözünürlüğü aşan bir elektron mikroskobu üretti.<ref>Ruska Ernst (1986). "[http://www.nobelprize.org/nobel_prizes/physics/laureates/1986/ruska-bio.html Ernst Ruska Autobiography]". Nobel Foundation.</ref> Daha sonra
== Çalışma ilkesi ==
|