Elektron: Revizyonlar arasındaki fark

[[Elektron ışınlı basım]], [[mikrometre]]den daha küçük çözünürlüklerdeki yarı iletkenleri aşındırma yöntemidir.<ref>{{konferans kaynağı |son=Özdemir |ilk=F. S. |tarih=25-27 Haziran 1979 |başlık=Electron beam lithography |url=http://portal.acm.org/citation.cfm?id=800292.811744 |çalışma=Proceedings of the 16th Conference on Design automation |sayfalar=383-391 |yayımcı=IEEE Press |yer=San Diego, Kaliforniya |dil=İngilizce}}</ref> Bu teknik; görece yüksek maliyetli olması, yavaş çalışması, ışınların vakumda çalışması gerekmesi, elektronların katılardaki dağılma eğilimi olması ve 10&nbsp;nm'ye kadar çözünürlük sınırı olması nedeniyle, özelleştirilmiş [[entegre devre]]lerin üretiminde kullanılmaktadır.<ref>{{kitap kaynağı |son=Madou |ilk=M. J. |yıl=2002 |baskı=2. |başlık=Fundamentals of Microfabrication: the Science of Miniaturization |url=https://books.google.com/?id=9bk3gJeQKBYC&pg=PA53 |sayfalar=53-54 |yayımcı=CRC Press |isbn=978-0-8493-0826-0 |dil=İngilizce}}</ref>

 

 

Çizgisel parçacık hızlandırıcısı radyasyon terapisinde yüzeysel tümörleri tedavisi için elektronları yönetir. Elektron terapisi bazal hücreli karsinoma gibi deri lezyonlarını tedavi edebilir çünkü bir elektron demeti soğrulmadan limitli derinliğe(elektron enerjisi için 5-20 MeV aralığında 5&nbsp;cm’ye kadar) zühul edebilir. Bir elektron demeti X-ray tarafından ışınımlanmış kısımların tedavisine ek olarak da kullanılır.