Taramalı elektron mikroskobu: Revizyonlar arasındaki fark

düzenleme özeti yok
[kontrol edilmiş revizyon][kontrol edilmiş revizyon]
k (Düzenleme yapıldı.)
Değişiklik özeti yok
[[Dosya:Ant_SEM.jpg |200px|thumb| Bir karınca kafasının taramalı elektron mikroskobuyla alınmış görüntüsü.]]
 
'''Taramalı elektron mikroskobu''' veya '''SEM''' (scanning electron microscope), odaklanmış bir [[Elektron demeti (EBPVD)|elektron]] demeti]] ile numune yüzeyini tarayarak görüntü elde eden bir [[elektron mikroskobu]] türüdür. Elektronlar numunedeki atomlarla etkileşerek numune yüzeyindeki [[Topoğrafya|topografi]] ve kompozisyon hakkında bilgiler içeren farklı sinyaller üretir. Elektron demeti [[raster tarama düzeni]] ile yüzeyi tarar ve demetin konumu, algılanan sinyalle eşleştirilerek görüntü oluşturulur. SEM ile 1 nanometreden daha yüksek çözünürlüğe ulaşılabilir. Standart SEM cihazları yüksek vakumda, kuru ve iletken yüzeyleri incelemek için uygundur. Ancak düşük vakumda, nemli koşullarda ([[çevresel taramalı elektron mikroskobu]]), çok düşük sıcaklıklardan yüksek sıcaklıklara değişen koşullarda çalışabilen özelleşmiş cihazlar da mevcuttur.
 
SEM'de görüntü oluşturmak için en çok, elektron demeti tarafından uyarılan numune atomlarının yaydığı ikincil elektronlardan (SE) faydalanılır. Numunenin farklı bölgelerinden kopan ikincil elektronların sayısındaki değişim öncelikle demetin yüzeyle buluşma açısına, yani yüzeyin topografisine bağlıdır. İkincil elektronların yanında geri saçılan elektronlar (BSE), karakteristik X-ışınları, ışık (katot ışını) (CL), numune akımı ve aktarılan elektronlarla da numuneden çeşitli sinyaller elde edilerek amaca uygun topografi ve kompozisyon analizleri yapılır.
 
== Tarihçe ==
SEM'in erken tarihi McMullan tarafından aktarılmıştır.<ref>McMullan, D. (2006). "[http://www-g.eng.cam.ac.uk/125/achievements/mcmullan/mcm.htm SCANNING ELECTRON MICROSCOPY 1928-1965]". ''Scanning'' 17 (3): 175-185. [http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/sca.4950170309/abstract;jsessionid=06F58DAC079C17D076D0942F6D53CFED.f01t03 doi:10.1002/sca.4950170309.]</ref><ref>McMullan, D. (1988). "Von Ardenne and the scanning electron microscope". ''Proc Roy Microsc Soc'' 23: 283-288</ref> İlk elektromanyetik lens 1926'da [[Hans Busch]] tarafından geliştirdi.<ref>Mathys, Daniel, Zentrum für Mikroskopie, [[:en:University of Basel|University of Basel]]: ''Die Entwicklung der Elektronenmikroskopie vom Bild über die Analyse zum Nanolabor'', p. 8</ref> Bir takım başarısız denemelerdenindenemelerin ardından 1931'te Alman fizikçi [[Ernst Ruska]] ve elektrik mühendisi [[Max Knoll]] X400 büyütme gücüne sahip bir elektron mikroskobu prototipi oluşturdular. Bu cihaz elektron mikroskobunun temel prensiplerini ortaya koydu. 1933'te ise Ruska ışık mikroskobu ile elde edilebilen çözünürlüğü aşan bir elektron mikroskobu üretti.<ref>Ruska Ernst (1986). "[http://www.nobelprize.org/nobel_prizes/physics/laureates/1986/ruska-bio.html Ernst Ruska Autobiography]". Nobel Foundation.</ref> Daha sonra, Knoll elektron demeti taraması kullanarak 50&nbsp;mm objektif alan genişliğine sahip, kanallama kontrastı gösteren bir fotoğraf çekti. Tüm bu gelişmelerin ardından 1937'de [[Manfred von Ardenne]], daraltılmış ve iyi odaklanmış bir elektron demeti ile çok küçük bir alanı tarayarak, yüksek çözünürlüklü gerçek bir taramalı elektron mikroskobu icat etmeyi başardı.<ref>von Ardenne M. Improvements in electron microscopes. GB 511204, (Almanya) 18 Şubat 1937</ref> Ardenne tarama prensibini hem yüksek büyütmeye ulaşmak için, hem de elektron mikroskobunun doğasında bulunan kromatik sapıncı engellemek için uygulamıştır. Ayrıca farklı görüntüleme modları ve SEM teorisi ile ilgili çalışmalar yapmıştır.<ref>von Ardenne, Manfred (1938) "Das Elektronen-Rastermikroskop. Theoretische Grundlagen". Zeitschrift für Physik (Almanya) 109 (9-110): 553-572.</ref> SEM cihazları yıllar içinde Zworykin grubu ve Charles Oatley yönetimindeki Cambridge grubu tarafından geliştirilmeye devam etmiş ve ilk ticari cihaz "Stereoscan" adı ile 1965 yılında Cambridge Scientific Instrument Company tarafından DuPont firmasına satılmıştır.
 
== Çalışma Prensibi ==
Anonim kullanıcı