Taramalı elektron mikroskobu: Revizyonlar arasındaki fark

düzenleme özeti yok
[kontrol edilmemiş revizyon][kontrol edilmiş revizyon]
kDeğişiklik özeti yok
Değişiklik özeti yok
 
SEM'de görüntü oluşturmak için en çok, elektron demeti tarafından uyarılan numune atomlarının yaydığı ikincil elektronlardan (SE) faydalanılır. Numunenin farklı bölgelerinden kopan ikincil elektronların sayısındaki değişim öncelikle demetin yüzeyle buluşma açısına, yani yüzeyin topografisine bağlıdır. İkincil elektronların yanında geri saçılan elektronlar (BSE), karakteristik X-ışınları, ışık (katot ışını) (CL), numune akımı ve aktarılan elektronlarla da numuneden çeşitli sinyaller elde edilerek amaca uygun topografi ve kompozisyon analizleri yapılır.
 
== Tarihçe ==
SEM'in erken tarihi McMullan tarafından aktarılmıştır.<ref>McMullan, D. (2006). "[http://www-g.eng.cam.ac.uk/125/achievements/mcmullan/mcm.htm SCANNING ELECTRON MICROSCOPY 1928-1965]". ''Scanning'' 17 (3): 175-185. [http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/sca.4950170309/abstract;jsessionid=06F58DAC079C17D076D0942F6D53CFED.f01t03 doi:10.1002/sca.4950170309.]</ref><ref>McMullan, D. (1988). "Von Ardenne and the scanning electron microscope". ''Proc Roy Microsc Soc'' 23: 283-288</ref> Alman fizikçi Ernst Ruska ve elektrik mühendisi Max Knoll 1931'de X400 büyütme gücüne sahip bir elektron mikroskobu prototipi oluşturdular. Bu cihaz elektron mikroskobunun temel prensiplerini ortaya koymuştur. 1933'te Ruska ışık mikroskobu ile elde edilebilen çözünürlüğü aşan bir elektron mikroskonu üretti.<ref>Ruska Ernst (1986). "[http://www.nobelprize.org/nobel_prizes/physics/laureates/1986/ruska-bio.html Ernst Ruska Autobiography]". Nobel Foundation.</ref>
 
== Çalışma Prensibi ==
6

düzenleme