Taramalı elektron mikroskobu: Revizyonlar arasındaki fark

k
bir fotoğraf daha eklendi
[kontrol edilmiş revizyon][kontrol edilmiş revizyon]
Değişiklik özeti yok
k (bir fotoğraf daha eklendi)
 
== Çalışma Prensibi ==
[[Dosya:SEM_chamber1.JPG |200px|thumb| Taramalı Elektron Mikroskobunun vakum odasının görüntüsü.]]
Yüksek enerjili demet elektronları numune atomlarının dış yörünge elektronları ile elastik olmayan girişimi sonucunda düşük enerjili [[Auger etkisi|Auger elektronları]] oluşur. Bu elektronlar numune yüzeyi hakkında bilgi taşır ve [[Auger etkisi|Auger Spektroskopisi]]nin çalışma prensibini oluşturur. Yine yörünge elektronları ile olan girişimler sonucunda yörüngelerinden atılan veya enerjisi azalan demet elektronları numune yüzeyine doğru hareket ederek yüzeyde toplanırlar. Bu elektronlar ikincil elektron (seconder electrons) olarak tanımlanır. İkincil elektronlar numune odasında bulunan sintilatörde toplanarak ikincil elektron görüntüsü sinyaline çevrilir. İkincil elektronlar numune yüzeyinin 10 nm veya daha düşük derinlikten geldiği için numunenin yüksek çözünürlüğe sahip topografik görüntüsünün elde edilmesinde kullanılır 
 
42

düzenleme