Taramalı elektron mikroskobu: Revizyonlar arasındaki fark
| [kontrol edilmiş revizyon] | [kontrol edilmiş revizyon] |
İçerik silindi İçerik eklendi
Değişiklik özeti yok |
Değişiklik özeti yok |
||
2. satır:
'''Taramalı Elektron Mikroskobu''' veya '''SEM''' (Scanning Electron Microscope), çok küçük bir alana odaklanan yüksek [[enerji]]li [[elektron]]larla yüzeyin taranması prensibiyle çalışır. Manfred von Ardenne öncülüğünde [[1930'lar|1930'lı]] yıllarda geliştirilmiştir. En sık kullanıldığı biçimiyle, yüzeyden yayılan ''ikincil'' (secondary) [[elektron]]larla yapılan ölçüm, özellikle yüzeyin engebeli (topografik) yapısıyla ilişkili bir görüntü oluşturur.
== Çalışma Prensibi ==
Yüksek enerjili demet elektronları numune atomlarının dış yörünge elektronları ile elastik olmayan girişimi sonucunda düşük enerjili [[Auger etkisi|Auger elektronları]] oluşur. Bu elektronlar numune yüzeyi hakkında bilgi taşır ve [[Auger etkisi|Auger Spektroskopisi]]nin çalışma prensibini oluşturur. Yine yörünge elektronları ile olan girişimler sonucunda yörüngelerinden atılan veya enerjisi azalan demet elektronları numune yüzeyine doğru hareket ederek yüzeyde toplanırlar. Bu elektronlar ikincil elektron (seconder electrons) olarak tanımlanır. İkincil elektronlar numune odasında bulunan sintilatörde toplanarak ikincil elektron görüntüsü sinyaline çevrilir. İkincil elektronlar numune yüzeyinin 10 nm veya daha düşük derinlikten geldiği için numunenin yüksek çözünürlüğe sahip topografik görüntüsünün elde edilmesinde kullanılır
== Görüntü Almadaki Değişkenler ==
*Uygulanan Voltaj ( keV )
*Çalışma Aralığı (mm )
*Objektif Açıklığı ( µm )
== Dış bağlantılar ==
| |||